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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5319761(A)
申请公布日期
1978.02.23
申请号
JP19760095152
申请日期
1976.08.09
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
FUNAKAWA SHIGERU;WATANABE MICHIZOU
分类号
H01L21/52;H01L23/02;H01L23/04;H01L23/12
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
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