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发明名称 PATTERN FORMING APPARATUS USING QUADRUPOLE LENSES
摘要
申请公布号 US4075488(A) 申请公布日期 1978.02.21
申请号 US19760687690 申请日期 1976.05.19
申请人 AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE & TECHNOLOGY 发明人 OKAYAMA, SHIGEO;KAWAKATSU, HISAZO
分类号 H01J37/30;(IPC1-7):H01J3/14 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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