| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET MET EEN GASPLASMA ETSEN VAN ALUMINIUM EN ALUMINIUMOXYDE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7706627(A) |
申请公布日期 |
1978.02.20 |
| 申请号 |
NL19770006627 |
申请日期 |
1977.06.16 |
| 申请人 |
NORTHERN TELECOM LIMITED TE MONTREAL, CANADA. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F1/00;H01L21/30 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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