发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5315073(A) 申请公布日期 1978.02.10
申请号 JP19760089035 申请日期 1976.07.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YASUDA SEIJI;MIYAGAWA MASAFUMI;GOTOU KENICHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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