| 发明名称 |
ISOLATING METHOD OF RIGID FRAGILE PLATE |
| 摘要 |
<p>PURPOSE:To isolate wafer to pellets by applying vibrations to a rigit fragile plate provided with scribing grooves.</p> |
| 申请公布号 |
JPS5314553(A) |
申请公布日期 |
1978.02.09 |
| 申请号 |
JP19760088167 |
申请日期 |
1976.07.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMASHITA SHINICHI;OYAMADA TAKESHI;WATANABE TAKEFUMI |
| 分类号 |
B26F3/00;H01L21/301;H01L21/302 |
主分类号 |
B26F3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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