发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5314585(A) 申请公布日期 1978.02.09
申请号 JP19760088172 申请日期 1976.07.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUZAWA MANABU;YOSHIMURA MASAYOSHI
分类号 B05D7/24;H01L21/76;H01L21/761;H01L27/04 主分类号 B05D7/24
代理机构 代理人
主权项
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