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发明名称 PULLING UP DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS5314171(A) 申请公布日期 1978.02.08
申请号 JP19760088202 申请日期 1976.07.26
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 FUKAZAWA TOKUKAI;TAKAGI KAZUMASA;ISHII MITSURU;NITANDA FUMIO
分类号 C30B15/28;H01L21/208 主分类号 C30B15/28
代理机构 代理人
主权项
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