发明名称 METHOD OF MEASURING ELECTRICAL PARAMETERS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 SU591974(A1) 申请公布日期 1978.02.05
申请号 SU19762358864 申请日期 1976.05.17
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM A.F.IOFFE 发明人 KOROLKOV VLADIMIR ILICH,SU;YAKOVENKO ALEKSANDR ALEKSANDROVICH,SU;DANILCHENKO VALERIJ GRIGOREVICH,SU;BERGMANN YAAK VALDEKOVICH,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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