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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS539470(A) 申请公布日期 1978.01.27
申请号 JP19760083474 申请日期 1976.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATOU HIROSHI
分类号 H01L23/52;H01L21/283;H01L21/31;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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