发明名称 PRODUCTION OF MIS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS538076(A) 申请公布日期 1978.01.25
申请号 JP19760081992 申请日期 1976.07.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L29/80;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/31;H01L29/06;H01L29/78 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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