发明名称 DOPING METHOD OF GROUP II * ELEMENTS INTO BORON PHOSPHIDE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS534466(A) 申请公布日期 1978.01.17
申请号 JP19760078726 申请日期 1976.07.02
申请人 TDK ELECTRONICS CO LTD 发明人 NAGANO KATSUTO;SASA SHIYOUZOU;NAKADA TAKESHI;ASAKAWA YUKIO
分类号 C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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