发明名称 VERFAHREN ZUR EPITAKTISCHEN ABLAGERUNG EINES HALBLEITERMATERIALS
摘要
申请公布号 DE2728771(A1) 申请公布日期 1978.01.12
申请号 DE19772728771 申请日期 1977.06.25
申请人 N.V.PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 ANDRE,ELIE
分类号 C30B15/18;C30B19/08;C30B19/10;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/06;B01J17/04 主分类号 C30B15/18
代理机构 代理人
主权项
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