发明名称
摘要
申请公布号 JPS532969(U) 申请公布日期 1978.01.12
申请号 JP19760084511U 申请日期 1976.06.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/88 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址