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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES METALLIONENFREIEN AMORPHEN SILICIUMDIOXIDS UND DARAUS HERGESTELLTES POLIERMITTEL
摘要
申请公布号 DE2629709(A1) 申请公布日期 1978.01.05
申请号 DE19762629709 申请日期 1976.07.02
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH 发明人 WILHELM SCHWERDT,FRIEDRICH;STEINBECK,HANS-HEINZ;CHRISTIAN,DIPL.-CHEM.DR. BRUNNER,FRIEDRICH
分类号 C01B33/12;C01B33/16;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C01B33/12;C09G1/02 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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