发明名称 PROCEDE POUR POLIR DES SURFACES PLANES DE PHOSPHURE DE GALLIUM
摘要
申请公布号 FR2354022(A5) 申请公布日期 1977.12.30
申请号 FR19720035068 申请日期 1972.09.27
申请人 IBM 发明人 JAGTAR S. BASI
分类号 B24B37/00;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):B28D5/06;H01L19/00 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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