| 发明名称 |
METHOD OF PRECIPITATING POLYCRYSTALLINE SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52155142(A) |
申请公布日期 |
1977.12.23 |
| 申请号 |
JP19770048997 |
申请日期 |
1977.04.27 |
| 申请人 |
WACKER CHEMITRONIC |
发明人 |
AROISU GETSUPINGERU;RUUDORUFU GURIISUHANMERU;HERUMUUTO HAMUSUTAA;FURANTSU KETSUPURU |
| 分类号 |
C01B33/02;C23C16/01;C23C16/24;C30B25/00;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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