| 发明名称 |
FLOW RATE MEASURING APPARATUS FOR VACUUM PUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52153770(A) |
申请公布日期 |
1977.12.21 |
| 申请号 |
JP19760070390 |
申请日期 |
1976.06.17 |
| 申请人 |
EBARA MFG |
发明人 |
HARADA HIDEOMI;KOMATSU KOUZOU;FUSAYASU EHIDE |
| 分类号 |
G01F3/36;F04B37/16;F04B51/00;G01F1/34 |
主分类号 |
G01F3/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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