| 发明名称 |
SCAN DRUM FOR AUTOMATIC TARGET DETECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52149980(A) |
申请公布日期 |
1977.12.13 |
| 申请号 |
JP19760066548 |
申请日期 |
1976.06.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHIZUKA HIROSHI;KOMORIYA SUSUMU;YOSHIDA KIYOSHI;MAEJIMA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/30;G06T1/00;H01L21/027;H01L21/66;H02K7/02 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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