发明名称 CONNECTING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52147067(A) 申请公布日期 1977.12.07
申请号 JP19760063613 申请日期 1976.06.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRANO MIKIO;HAYASHIDA TETSUYA;YAMAMOTO HIROSHI;HARADA TADAYOSHI
分类号 H01L21/603;H01L21/58;H01L21/60 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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