发明名称
摘要
申请公布号 JPS5248038(B2) 申请公布日期 1977.12.07
申请号 JP19730133053 申请日期 1973.11.29
申请人 发明人
分类号 H01J61/68;G01N21/00;G01N21/67;H01J17/40;H01J61/00 主分类号 H01J61/68
代理机构 代理人
主权项
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