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发明名称
FORMATION OF CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号
JPS52146548(A)
申请公布日期
1977.12.06
申请号
JP19760063053
申请日期
1976.05.31
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
OKADA SHIGEKAZU;FUKUMOTO YOSHIKATSU
分类号
H01J29/88;H01B1/00;H01B1/04
主分类号
H01J29/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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