发明名称 METHOD OF CHAMFERING SINGLE CRYSTAL WAFERS
摘要
申请公布号 JPS52144269(A) 申请公布日期 1977.12.01
申请号 JP19760061497 申请日期 1976.05.27
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;NIPPON DENSHI KINZOKU KK 发明人 ENDOU KAZUYOSHI;AKAIKE TAICHI;MIZUNO HIROKUNI;ONO ISOROKU;HORIOKA TOMOYOSHI
分类号 G04G9/00;G04G99/00;H01L21/304 主分类号 G04G9/00
代理机构 代理人
主权项
地址