发明名称 PRODUCTION OF THIN SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号 JPS52143756(A) 申请公布日期 1977.11.30
申请号 JP19760060020 申请日期 1976.05.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 MAEJIMA HIROSHI;NAGATOMO HIROTO;SUZUKI JIYUN
分类号 C30B15/34;H01L21/208 主分类号 C30B15/34
代理机构 代理人
主权项
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