对位用照明装置及具有该装置之曝光装置

摘要

在CCD相机3周遭之标记的环形照明装置1具有照明装置1、照明亮度控制装置10、照明高度控制装置11、照明颜色控制装置12以及控制器5，其中控制器5控制上述装置并且藉由CCD相机3侦测上述标记，照明亮度控制装置10以每次1%的步距，将具有K=1~M之组合的照明亮度由1%改变至100%，并且藉由对比度侦测/决定装置23来决定上述标记的对比度以及藉由变异值侦测/决定装置24来决定变异值，然后根据变异值决定最佳的照明条件。

主权项

一种对位用照明装置，用于照明设置于一印刷电路板之上的一印刷电路板标记与设置于一光罩之上的一光罩标记，当根据上述印刷电路板标记与上述光罩标记，使用一影像识别装置来识别上述印刷电路板标记与光罩标记，包括：一照明亮度控制装置，用以改变一照明装置的亮度；一对比度侦测装置，用以侦测上述印刷电路板标记与上述印刷电路板之间的对比度，以及上述光罩标记与上述印刷电路板之间的对比度；一变异值侦测装置，用以侦测上述印刷电路板标记与上述光罩标记位置的变异值，上述印刷电路板标记与上述光罩标记位置被上述影像识别装置侦测识别复数次；及一照明条件决定装置，用于在上述照明亮度控制装置改变之复数亮度之中，根据上述对比度侦测装置侦测之对比度与上述变异值侦测装置侦测之变异值，决定合适的照明亮度作为合适的照明条件。