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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52141574(A) 申请公布日期 1977.11.25
申请号 JP19760058653 申请日期 1976.05.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA TSUTOMU;TAKEMOTO TOYOKI;YONEDA TADAO;YAMADA HARUO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/56;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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