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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS52132776(A) 申请公布日期 1977.11.07
申请号 JP19760049492 申请日期 1976.04.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKANO ATSUSHI;TANAKA SHINPEI
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/283 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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