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发明名称
摘要
申请公布号	JPS52142376(U)	申请公布日期	1977.10.28
申请号	JP19760036035U	申请日期	1976.03.24
申请人		发明人
分类号	G01J1/58;G01N21/00;G01N21/64;G01R31/26;G01T1/02;H01L31/12;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01J1/58
代理机构		代理人
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