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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ANREICHERUNGS-FELDEFFEKTRANSISTOREN
摘要
申请公布号 DE2553838(B2) 申请公布日期 1977.10.27
申请号 DE19752553838 申请日期 1975.11.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/80;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/00;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
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