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发明名称 SEMICONDUCTOR UNIT ASSEMBLY
摘要
申请公布号 JPS52127755(A) 申请公布日期 1977.10.26
申请号 JP19760044588 申请日期 1976.04.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 HAGIMOTO EIJI;IMAI MITSURU
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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