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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52127186(A) 申请公布日期 1977.10.25
申请号 JP19760044549 申请日期 1976.04.19
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HIGASHINAKAGAHA IWAO;SHIMA SHIYOUHEI
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3205;H01L29/43 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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