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发明名称
摘要
申请公布号 JPS52138796(U) 申请公布日期 1977.10.21
申请号 JP19760046810U 申请日期 1976.04.16
申请人 发明人
分类号 G01N27/12;H01L49/00;(IPC1-7):G01N27/12 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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