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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5239336(B1)	申请公布日期	1977.10.04
申请号	JP19750154145	申请日期	1975.12.25
申请人		发明人
分类号	F23Q2/28;F23Q3/00;(IPC1-7):F23Q2/16;H01L41/00	主分类号	F23Q2/28
代理机构		代理人
主权项
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