发明名称 ELECTRONIC MICROSCOPE AND EQUIVALENT UNIT
摘要 PURPOSE:To enable accurate micro analysis, by detecting the component removed from the test piece with the shock of electron ray and by making complementarily data comparison for the analysis of the residual component.
申请公布号 JPS52113152(A) 申请公布日期 1977.09.22
申请号 JP19760029118 申请日期 1976.03.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGATANI TAKASHI
分类号 G01N23/227;G01N23/225;H01J37/26 主分类号 G01N23/227
代理机构 代理人
主权项
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