发明名称 SEMIICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52111379(A) 申请公布日期 1977.09.19
申请号 JP19760027651 申请日期 1976.03.16
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YONEZAWA TOSHIO;YASUJIMA TAKASHI;UCHIDA MASAHITO
分类号 H01L21/314;H01L21/31 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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