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发明名称 ETCHER
摘要
申请公布号 SU570936(A1) 申请公布日期 1977.08.30
申请号 SU19752304681 申请日期 1975.12.29
申请人 SAMORODOV ALEKSANDR L,SU;KOTLYAROVA SVETLANA M,SU 发明人 SAMORODOV ALEKSANDR L,SU;KOTLYAROVA SVETLANA M,SU
分类号 H01L21/461;(IPC1-7):H01L21/46 主分类号 H01L21/461
代理机构 代理人
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