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发明名称
摘要
申请公布号
JPS52113774(U)
申请公布日期
1977.08.29
申请号
JP19760020800U
申请日期
1976.02.24
申请人
发明人
分类号
H01L27/092;H01L21/8238;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L29/60
主分类号
H01L27/092
代理机构
代理人
主权项
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