| 发明名称 |
PROCEDE DE CONTROLE DE L'ENLEVEMENT PAR IONO-GRAVURE D'UNE MINCE COUCHE OU DE REGIONS D'UNE COUCHE DETERMINEES PAR DES MASQUES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2339681(A1) |
申请公布日期 |
1977.08.26 |
| 申请号 |
FR19770002525 |
申请日期 |
1977.01.28 |
| 申请人 |
LEYBOLD HERAEUS GMBH ET CO KG |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/54;H01J37/304;(IPC1-7):C23C15/00;H01L21/30 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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