| 发明名称 |
PROCESS AND APPARATUS FOR MACHINING WORK BY CHARGED PARTICLE BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52100700(A) |
申请公布日期 |
1977.08.23 |
| 申请号 |
JP19760017741 |
申请日期 |
1976.02.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANO MASAHIRO;YABUNAKA FUMIHARU;MANABE MASARU |
| 分类号 |
B23K15/02;B23K15/00;H01J37/30 |
主分类号 |
B23K15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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