| 发明名称 |
VACUUM EVAPORATION OF CERIUM OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52100396(A) |
申请公布日期 |
1977.08.23 |
| 申请号 |
JP19760017080 |
申请日期 |
1976.02.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATANABE KIYOSHI;SUNAHARA KAZUO;FUJITA TSUTOMU |
| 分类号 |
C01F17/00;C23C14/06;C23C14/08;H01J9/233 |
主分类号 |
C01F17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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