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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5298469(A)
申请公布日期
1977.08.18
申请号
JP19760014868
申请日期
1976.02.16
申请人
HITACHI LTD
发明人
YAMAMOTO MASASHI;NAGANUMA TAKASHI;NATORI KOUJI
分类号
H01L21/66;H01L21/205
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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