| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN EINER LICHTEMPFINDLICHEN SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2702335(A1) |
申请公布日期 |
1977.08.11 |
| 申请号 |
DE19772702335 |
申请日期 |
1977.01.21 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO. |
发明人 |
SAMUEL HAMLIN,JAMES |
| 分类号 |
H01L21/30;G03D3/13;G03D5/04;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03D13/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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