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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 CH478458(A) 申请公布日期 1969.09.15
申请号 CH19660001823 申请日期 1966.02.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HEISSING,HELMUT,DIPL.-PHYS.;MEER,WINFRIED,DIPL.-PHYS.
分类号 C30B31/02;H01L21/00;H01L21/22;H01L29/00;H01L29/73;(IPC1-7):H01L7/02 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
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