发明名称 PRODUCTION OF INSULAR SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPS5289485(A) 申请公布日期 1977.07.27
申请号 JP19760005479 申请日期 1976.01.22
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 OOMORI YUKIO;TAKIGAWA TADAHIRO
分类号 H01L27/12;H01L21/306;H01L21/467;H01L21/84;H01L21/86 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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