发明名称 VERFAHREN ZUM POLIEREN VON HALBLEITEROBERFLAECHEN, INSBESONDERE GALLIUMPHOSPHIDOBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DE2600990(A1) 申请公布日期 1977.07.21
申请号 DE19762600990 申请日期 1976.01.13
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 JACOB,HERBERT,DIPL.-CHEM.DR.;LAMPERT,INGOLF
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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