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发明名称
ION PLATING APPARATUS
摘要
PURPOSE:To form the film on the substrate at low temperature, by impressing low alternating current voltage between the evaporation source and the substrate in treating room, connected to the vacuum exhaust system.
申请公布号
JPS5286983(A)
申请公布日期
1977.07.20
申请号
JP19760003177
申请日期
1976.01.16
申请人
ULVAC CORP
发明人
FUKUBE YOSHITO;NAKAMURA KAZUO
分类号
C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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