发明名称 ION PLATING APPARATUS
摘要 PURPOSE:To form the film on the substrate at low temperature, by impressing low alternating current voltage between the evaporation source and the substrate in treating room, connected to the vacuum exhaust system.
申请公布号 JPS5286983(A) 申请公布日期 1977.07.20
申请号 JP19760003177 申请日期 1976.01.16
申请人 ULVAC CORP 发明人 FUKUBE YOSHITO;NAKAMURA KAZUO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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