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发明名称
FORMATION OF ALLOY FILM BY VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPS5286062(A)
申请公布日期
1977.07.16
申请号
JP19760002058
申请日期
1976.01.12
申请人
HITACHI LTD
发明人
YOSHIDA HIROBUMI
分类号
H01B1/00;H01L21/28;H01L21/285
主分类号
H01B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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