| 发明名称 |
CONTAMINATION PREVENTING METHOD FOR SENSITIVE CORROSIONNRESISTANT RESI NS |
| 摘要 |
PURPOSE:To prevent the contaimination of sensitive corrosion-resistant resins by covering the surface in contact with the atmosphere with ion gas. |
| 申请公布号 |
JPS5284976(A) |
申请公布日期 |
1977.07.14 |
| 申请号 |
JP19760000788 |
申请日期 |
1976.01.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANIGAKI YUKIO;NISHIDA KIYOO |
| 分类号 |
G03F7/38;G03C5/00;G03F7/00;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/302;H05K3/00 |
主分类号 |
G03F7/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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