发明名称 HYDROGEN PLASMA PASSIVATION OF GAAS
摘要
申请公布号 CA2024134(A1) 申请公布日期 1991.03.02
申请号 CA19902024134 申请日期 1990.08.28
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 GOTTSCHO, RICHARD A.;PREPPERNAU, BRYAN L.
分类号 C30B33/12;H01L21/306;H01L21/326 主分类号 C30B33/12
代理机构 代理人
主权项
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