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发明名称
PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号
GB1479462(A)
申请公布日期
1977.07.13
申请号
GB19740036219
申请日期
1974.08.16
申请人
HITACHI LTD
发明人
分类号
G03C1/00;G03F7/004;G03F7/008;G03F7/075;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G03C1/60
主分类号
G03C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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