发明名称 PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 GB1479462(A) 申请公布日期 1977.07.13
申请号 GB19740036219 申请日期 1974.08.16
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 G03C1/00;G03F7/004;G03F7/008;G03F7/075;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G03C1/60 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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