制造III族氮化物半导体的方法METHOD FOR FABRICATION OF GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR

摘要

一种Ⅲ族氮化物半导体的制法，其包含的步骤有：安装一基板于反应舱内，形成Ⅲ族氮化物半导体于基板上，使固态氮化合物存在于反应舱内而作为Ⅲ族氮化物半导体的氮源，以及将作为Ⅲ族元素源的原料气体供应至反应舱内而制造Ⅲ族氮化物半导体。